IonPad 物理吸附 | CREATIVE TECHNOLOGY 創造科學先進電子股份有限公司

Ion Pad 物理吸附

Ion Pad 是以特殊的樹脂為基材，利用Ion Pad與對象物的接觸面，產生化學與物理間的結合，進而吸附住對象物。利用彼此的介面相互作用，吸附對象物時不需要通電、吸真空等等外部介入。
因為不需要通電配線、配管，可達到將設備簡易化、且對環境友善環保。

Ion Pad 可用於吸附/搬送較平面的產品，例如薄型玻璃、翹取wafer…等，或是應用在機器手臂進行高速搬送時，發揮止滑的功能讓wafer/產品不要有飛出、掉片(滑片)的狀況。

ADVANTAGE

產品優勢

適合吸附平面的產品

吸附原理並非機械的結合，而是利用物理及化學產生的反應，進而吸附像SI wafer及display glass等等的平面產品

真空中也可使用

吸附原理並非利用壓差，而是利用物理及化學產生的反應，即使是真空中也能使用

節能

ION PAD是利用與對象物相互之間的作用力做吸附，不需要透過真空機構及其他外部電源

可重複使用

ION PAD並不是硬化型的接著劑，而是使用穩定性高的特殊樹脂塗層，可以重複使用。若有附著粉塵的狀況，雖然洗淨清潔後可再使用、但若有傷痕及表面的磨損產生，就必須進行更換

主要的種類

ION PAD目前有兩款，表面平滑的黏著Type及表面細微凹凸形成的非黏著Type。吸附玻璃及薄膜主要是使用黏著Type，止滑功能則建議選用非黏著Type。依照吸附對象、用途及使用環境來設計適合的ION PAD。

規格

種類		黏著Type	非黏著（止滑）Type
吸附面	材質	特殊樹脂塗層
	厚度	0.1mm、1.0mm ※不包含base底座
	硬度	橡膠硬度55°
	材質分析	Na：0.56ppm　Al：0.53ppm　Fe：3.2ppm　Ni：0.07ppm　Zn：0.16ppm ※實驗方法：ICP-MS
使用條件	溫度	0℃～100℃	0℃～150℃
使用條件	環境	大氣、真空及其他氣體環境
吸附力※	種類	黏著Type φ3mm的Pad*4個	非黏著（止滑）Type φ3mm的Pad*4個
	脫離	＞100gf 負重50gf 吸附固定五秒後，脫離後需要的力量	≒0gf 負重50gfを吸附固定五秒後，脫離後需要的力量
	ズレ方向	＞60gf Si Wafer負重50gf開始移動的力量	＞60gf Si Wafer負重50gf開始移動的力量
構造

※吸附力為以上條件下所測定的結果。此為參考數據、非保證數據。

產品範例

吸附玻璃用靜電吸盤ESC

尺寸：
Ion Pad：φ5mm×0.1mm（合計204處）
ESC：300mm×250mm
構成材質：
Base：A5052P
ESC：POLYMIDE
Pad：特殊樹脂塗層
吸附對象物：玻璃基板
使用環境：大氣中~真空中

高速搬送用effector

尺寸：
Ion Pad：φ3mm×1.0mm（合計4處）
構成材質：
Base：Al2O3
Pad：特殊樹脂塗層
吸附對象物：Si Wafer、藍寶石、石英玻璃
使用環境：大氣中~真空中

『Porous Chuck多孔性吸盤』
用於加工機台及檢測設備的搬送需求

『Porous Chuck多孔性吸盤』是一種利用表面的多孔結構和負壓來吸附較薄、平面的對象物（如晶圓、玻璃等）的吸附工具。
除了被稱為“Porous Chuck”外，還被稱為“Porous Vacuum Chuck”、“Porous Vacuum Chuck”等，
它們被廣泛應用於加工機台與檢驗機台，以及在搬運上應用吸附式的pad，成為各種產業皆能使用的輔助工具。

我們不僅專注於核心技術的“靜電吸附”，還致力於提供吸附相關的一站式解決方案，
包括『Porous Chuck多孔性吸盤』的開發、製造和銷售。

主要特點如下

① 透過微米級的孔隙吸附，可以達到均勻吸附
一般的真空吸盤會在吸附面上設置溝槽或孔洞以形成氣流迴路進行吸附，但對於薄而纖細的物體，局部吸力可能會導致物體變形或吸附痕跡等等的問題。相比之下，由於多孔性吸盤具有微米級孔隙覆蓋其整個面積，因此可以達到均勻吸附，減少物體變形和吸附痕跡等等的問題。

② 不需要完全覆蓋整個對象物(產品)也能吸附
一般的真空吸盤是通過利用真空和大氣壓之間的差壓來達到吸附效果的，因此如果不將吸附面的所有溝槽或孔洞堵住，就無法產生足夠的差壓，進而無法獲得足夠的吸附力。因此，對於不同大小的對象物（產品），需要更換相應的吸盤。相比之下，由於多孔吸盤具有密集的微米級孔隙，空氣洩漏發生的機率較低，即使目標物（產品）略小於多孔性吸盤，也可以減少吸附力的下降。我們可以根據目標物（產品）特性等等要素，為您提供最佳的使用建議。

③ 在潮濕的環境下也能使用
使用液體進行加工的製程或是對象物（產品）是潮濕的情況，都可以使用我們的多孔性吸盤。

④ 可接受客製化設計製作
我們可以根據用途及需求進行客製設計，如形狀、尺寸、厚度、吸附產品的種類、材料等。如果您有任何需求，請隨時與我們聯繫。

主要用途

機械加工時固定平面(板)狀產品
例如平面磨床、旋轉磨床、拋光加工機等等

各種檢查時固定平面(板)狀產品或薄膜等等
例如外觀檢查裝置、圖像檢查裝置、二維測量儀或三維測量機等等

搬運平面(板)狀產品、薄膜等等

我們提供各種“吸附技術”，包括除了多孔性吸盤之外的靜電吸盤、抓握/止滑效果的“IonPad”等等。我們將介紹適合產品用途的最佳吸附工具，並提出各種技術提案，而不僅僅侷限於一種吸附技術。作為提供有關吸附一站式解決方案的CREATIVE TECHNOLOGY，我們將實現客戶的自動化、人員減少和提高生產效率。若有任何需求請隨時與我們聯繫。