半導體使用的靜電吸盤

半導體製造設備使用的靜電吸盤 (Electrostatic chuck,E-CHUCK,ESC)

近年來隨著數位化的發展，半導體已成為大家生活中的一部分，創造科學所開發的靜電吸盤不只在半導體業界，其他如薄膜、蝕刻、離子植入、wafer檢查等等，屬於半導體『前端製程』的領域，都有我們努力的存在。為了回應客戶各式各樣的需求，半導體漸漸往細微化、薄型化發展，敝司的靜電吸盤也因應時代需求持續開發、各式設計、量產、客製化、翻修，提供客戶多方面的服務。