150mm 6” 新品及翻修服務
創造科學提供各式靜電吸盤(Electrostatic chuck,E-CHUCK,ESC)的新品及維修服務。
我們專注於半導體機台內的靜電吸盤(Electrostatic chuck,E-CHUCK,ESC)，舉凡6”、8”、12”尺寸的聚醯亞胺膜(Polyimide,PI)、陽極處理(anodized)及陶瓷噴塗(Ceramic,Thermal spray)材質皆有生產製造及翻修。
以下是我們提供服務的產品目錄及型號。另外，我們也提供客製化的服務，若有任何問題及需求，歡迎與我們聯絡。
0010-10982
150mm AMAT MXP+ ESC
0010-10529 / 0040-09963
150mm MxP Poly
0010-10204
150mm Centura ESC
0090-35135
150mm DPS ESC
718-094756-061
150mm Lam 9600 ESC
718-092326-066
150mm Lam 4720 ESC
200mm 8” 新品及翻修服務
創造科學提供各式靜電吸盤(Electrostatic chuck,E-CHUCK,ESC)的新品及維修服務。
我們專注於半導體機台內的靜電吸盤(Electrostatic chuck,E-CHUCK,ESC)，舉凡6”、8”、12”尺寸的聚醯亞胺膜(Polyimide,PI)、陽極處理(anodized)及陶瓷噴塗(Ceramic,Thermal spray)材質皆有生產製造及翻修。
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0040-99949/0041-34688
200mm AMAT MXP+ ESC / STI Nitride ESC
0090-35133/
0040-77771/0090-35133
200mm AMAT DPS ESC
0010-11216/0010-05994
200mm AMAT E-Max ESC
0040-18219/0041-78449/
0040-18053 200mm AMAT HDP ESC
0090-09298
200mm AMAT MXP GEN 2 ESC
New
0010-10528/0041-37391
200mm AMAT STI MXP Poly ESC - New
0010-05966/0040-39990/0010-39835
200mm AMAT Super E ESC
718-094523-281/ 718-094523-218
200mm LAM9400 ESC
ES1D10-202204-12/ Es1d10-250233-11
Electrode Upper P-1 (DRM2)
New
1885-023137-17
200mm TEL 85DP ESC -
New
New
Es1d10-100956-12
200mm TEL 85DD (PI) ESC - New
New
Es1d85-006978-15/
ES1D85-006978-13
200mm TEL 85DD (Ce) ESC - New
ES1810-225123-11
TEL SCCM Focus Si Ring
839-440462-508
200mm Lam Exelan ESC
3FB0229G-4
200mm Shibaura CDE ESC
02-1302-134263-00/
02-257120-00
200mm Novellus HDP ESC
ES1D85-006978-13
200mm TEL 85DD (Ce) ESC
300mm 12” 新品及翻修服務
創造科學提供各式靜電吸盤(Electrostatic chuck,E-CHUCK,ESC)的新品及維修服務。
我們專注於半導體機台內的靜電吸盤(Electrostatic chuck,E-CHUCK,ESC)，舉凡6”、8”、12”尺寸的聚醯亞胺膜(Polyimide,PI)、陽極處理(anodized)及陶瓷噴塗(Ceramic,Thermal spray)材質皆有生產製造及翻修。
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839-019090-608
300mm LAM 608
839-019090-611
300mm LAM 611
839-019090-374
300mm LAM 374
839-019090-577
300mm LAM 577
3D10-150110-11
300mm TEL Long life ESC
3D10-101227-11
300mm TEL SCCM BSP ESC
3D10-100930-13
300mm TEL SCCM SE+ ESC
3D10-100123-16/
3D87-002338-14
300mm TEL DRM ESC
3D10-100810-12/
3D10-100433-12
300mm TEL SCCM SE ESC
ES2L10-151441-11
300mm TEL Vigus ATCC ESC
2L10-150993-11
300mm TEL Vigus NX ESC
0010-11216
300mm AMAT E-Max ESC
0040-48594
300mm AMAT HDP ESC
