靜電式 particle collector

Particle 改善方案

『Particle』是灰塵、粒子等等微塵異物的簡稱。我司開發的『particle collector』為改善particle殘留問題，提高產品良率。

產品在外觀品質、性能、壽命等等的要求下，particle的狀態為何，在產品上有一定程度的影響。對產品的品質要求下，越來越多客戶有Particle改善的需求。

在半導體領域，隨著個人電腦、平板電腦、智慧型手機等等電子用品的小型化、高機能化的需求下，半導體也漸漸被要求縮小產品尺寸、達到較高的品質。因為產品的性能取決於電路微小化，從以前不被認為是問題的『um』等級的particle，在這幾年也成為了一大難題。

另外，不只在半導體，其他業界的製造現場，隨著工廠自動化的加速發展，『良率提高』、『改善生產效率』、『particle改善』也被各界討論著。

『靜電式吸附 Particle collector』是應用敝司長年在半導體的領域研發的『靜電吸盤』技術，來捕捉空間中的揚塵，達到particle改善效果。關於particle改善對策，已有許多業界開始導入使用敝司的particle collector。

這是一種專為控制靜電吸盤而開發的電源，
可提供直流高電壓和正負兩極輸出。
您可以根據實際應用需求進行選擇。